I  压力、温度测量范围宽,，温度误差极小

I  工作稳定，可靠性高，双膜片结构钛合金金属膜片过载性能优良

I  蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成，不会发生迟滞、疲劳和蠕变现象

I  外形尺寸小，重量轻，类型齐全，性价比高

I  反相极性过压过流保护

I  测量介质范围广，可测量粘稠或结晶液体固体颗粒中的气体悬浮物等

原　理

蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变

现象；蓝宝石比硅要坚固，硬度更高，不怕形变；蓝宝石有着非常好

的弹性和绝缘特性（1000℃以内），因此，利用硅—蓝宝石制造的半

导体敏感元件，对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好

的工作特性。蓝宝石的抗辐射性极强；另外，硅—蓝宝石半导体敏感

元件无p-n漂移，因此，从根本上简化了制造工艺，提高了重复性，

确保了高成品率。

用硅—蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器，可在

最恶劣的工作条件下正常工作，并且可靠性高、精度好、温度误差极

小、性价比高。

表压压力传感器和变送器由双膜片构成:钛合金测量膜片和钛合

金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被

焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片（接收膜片与测

量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起）。在压力的作用下，钛合金接

收膜片产生形变，该形变被硅—蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出

会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。

传感器的电路能够保证应变电桥电路的供电，并将应变电桥的失

衡信号转换为统一的电信号输出。

在绝压压力传感器和变送器中，蓝宝石薄片与陶瓷基极玻璃焊料

连接在一起，起到了弹性元件的作用，将被测压力转换为应变片形

变，从而达到压力测量的目的。

a.表压传感器结构图

b.绝压传感器的结构图

1.由硅－蓝宝石制成的半导体敏感元件

2.钛合金测量膜片

3.集电极

4.钛合金接收膜片

5.拉杆

6.陶瓷基极